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    功率芯片质子辐照终端

    质子重离子辐照中心用于制造新能源用高性能功率芯片的质子重离子辐照中心，利用质子束对晶圆进行辐照处理，大幅改善功率芯片的性能。

    质子重离子辐照中心用于制造新能源用高性能功率芯片的质子重离子辐照中心，利用质子束对晶圆进行辐照处理，大幅改善功率芯片的性能。
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